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本論文主要利用反應式射頻磁控濺鍍法製備奈米材料來研究二氧化釕(Ruthenium dioxide，RuO2)/石墨烯(Graphene)奈米複合結構，觀察其表面、分析其成長優選方向及結構特性。 利用…
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使用射頻磁控反應式濺鍍法製備異質奈米材料於SA(100)、SA(012) 、LTO(012)基板上。本實驗分為二部份，一為先行沉積金紅石結構二氧化鈦於以上各種基板上，探討金紅石結構二氧化鈦奈米柱形貌…
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本論文主要利用純度為99.95%釕靶材，藉由反應式射頻磁控濺鍍系統來研究二氧化釕成長於奈米碳管上之複合物分析，和對於此複合物做初步電容測試探討。利用不同的濺鍍條件，基板成長的溫度不同，可控制晶系結構…
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此研究以反應式離子束濺鍍法於SiO2/Si基版及石英基板上沉積氧化銅/氧化亞銅薄膜，探討氬/氧流量及基板溫度對所沉積氧化銅/氧化亞銅薄膜之影響。研究結果顯示在300℃或400℃所沉積之氧化銅/氧化亞…